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        顯微分光膜厚儀

        簡(jiǎn)(jiǎn)要描述:OPTM 系列顯微分光膜厚儀
        測量項目:

        ? 絕.對反射率測量

        ? 多層膜解析

        ? 光學(xué)(xué)常數分析(n:折射率,k:消光系數)

        • 產(chǎn)(chǎn)品型號:OPTM 系列
        • 廠(chǎng)(chǎng)商性質(zhì)(zhì):生產(chǎn)(chǎn)廠(chǎng)(chǎng)家
        • 更新時(shí)(shí)間:2024-06-20
        • 訪(fǎng)(fǎng)  問(wèn)(wèn)  量:3622

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        詳細介紹

        OPTM 系列顯微分光膜厚儀

         •  使用顯微光譜法在微小區域內通過(guò)(guò)絕.對反射率進(jìn)(jìn)行測量,可進(jìn)(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)(xué)常數分析。

        •  可通過(guò)(guò)非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)(xué)材料和多層膜。 測量時(shí)(shí)間上,能達到1秒/點(diǎn)(diǎn)的高速測量,并且搭載了 即使是初次使用的用戶(hù)(hù),也可容易出分析光學(xué)(xué)常數的軟件。

        •  頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

        •  通過(guò)(guò)顯微光譜法測量高精度絕.對反射率(多層膜厚度,光學(xué)(xué)常數)

        •  1點(diǎn)(diǎn)1秒高速測量

        •  顯微分光下廣范圍的光學(xué)(xué)系統(紫外至近紅外)

        •  區域傳感器的安全機制

        •  易于分析向導,初學(xué)(xué)者也能夠進(jìn)(jìn)行光學(xué)(xué)常數分析

        •  獨立測量頭對應各種inline客制化需求

        •  支持各種自定義

        測量項目:

        •  絕.對反射率測量

        •  多層膜解析

        •  光學(xué)(xué)常數分析(n:折射率,k:消光系數)

         

        OPTM 系列顯微分光膜厚儀

        型號

        OPTM-A1

        OPTM-A2

        OPTM-A3

        波長(cháng)(cháng)范圍

        230 ~ 800 nm

        360 ~ 1100 nm

        900 ~ 1600 nm

        膜厚范圍

        1nm ~ 35μm

        7nm ~ 49μm

        16nm ~ 92μm

        測定時(shí)(shí)間

        1秒 / 1點(diǎn)(diǎn)

        光斑大小

        10μm (小約5μm)

        感光元件

        CCD

        InGaAs

        光源規格

        氘燈+鹵素燈

        鹵素燈

        電源規格

        AC100V±10V 750VA(自動(dòng)(dòng)樣品臺規格)

        尺寸

        555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動(dòng)(dòng)樣品臺規格之主體 部分)

        重量

        55kg(自動(dòng)(dòng)樣品臺規格之主體部分)

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