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        半導體晶圓缺陷檢測儀

        簡(jiǎn)(jiǎn)要描述:半導體晶圓缺陷檢測儀利用亮場(chǎng)(chǎng)和暗場(chǎng)(chǎng)顯微成像技術(shù)(shù),通過(guò)(guò)自動(dòng)(dòng)化的圖像捕捉以及人工智能分析工具,為晶圓表面缺陷的檢測提供了快速且高效的解決方案。

        • 產(chǎn)(chǎn)品型號:
        • 廠(chǎng)(chǎng)商性質(zhì)(zhì):生產(chǎn)(chǎn)廠(chǎng)(chǎng)家
        • 更新時(shí)(shí)間:2024-06-20
        • 訪(fǎng)(fǎng)  問(wèn)(wèn)  量:2925

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        半導體晶圓缺陷檢測儀


        半導體晶圓缺陷檢測儀這款高度集成的桌面儀器利用亮場(chǎng)(chǎng)和暗場(chǎng)(chǎng)顯微成像技術(shù)(shù),通過(guò)(guò)自動(dòng)(dòng)化的圖像捕捉以及人工智能分析工具,為晶圓表面缺陷的檢測提供了快速且高效的解決方案。設備主要用于檢測如襯底片和外延片的缺陷,包括位錯、顆粒、凹坑、劃痕和污染等類(lèi)(lèi)型的瑕疵,并且可以根據客戶(hù)(hù)的需求進(jìn)(jìn)行定制服務(wù)(wù)

        光學(xué)(xué)成像系統:

        10X 遠場(chǎng)(chǎng)消色差長(cháng)(cháng)工距顯微鏡頭

        0.8X 擴視野相機轉接鏡筒

        500萬(wàn)(wàn)像素采集相機

        LED同軸反射光源

        輔助自動(dòng)(dòng)聚焦激光傳感器

        自動(dòng)(dòng)運動(dòng)(dòng)平臺:包括4寸,6寸和8寸Wafer載物臺夾具1套


        計算機系統



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